[发明专利]一种双重响应的光刻胶组合物及其应用

权利要求书

1.一种双重响应的光刻胶组合物，其特征在于，包含功能单体、光引发剂和聚合物；

所述功能单体包含具有如下结构式Ⅰ的丙烯酸酯类单体和结构式Ⅱ的丙烯酸酯类单体；

其中，m1表示1-50的整数，R₁、R₂各自对立地表示为C1-C5的直链或支链烷基；

X-(Y)_m2 Ⅱ；

其中，X表示C1-C50的直链或支链烷基，m2表示1-20的整数；

Y表示-OOC-CR₃＝CH₂；

R₃表示甲基或氢；

所述聚合物为具有如下结构式Ⅲ的聚合物：

2.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述聚合物的平均分子量为200-20000；优选地，所述聚合物的平均分子量为500-5000；更优选地，所述聚合物的平均分子量为700-3000。

3.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，结构式Ⅰ中的m1表示1-20的整数；优选地，m1表示1-10的整数；优选地，结构式Ⅰ中的R₁表示C1-C3的直链或支链烷基；R₂表示C1-C2的直链或支链烷基。

4.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，结构式Ⅱ中的X表示C1-C30的直链或支链烷基；优选地，结构式Ⅱ中的X的氢选择性被羟基、卤素、羧基或氨基部分取代；优选地，m2表示1-10的整数；优选地，m2表示3-6的整数。

5.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述结构式Ⅰ具有如下Ⅰ-1～Ⅰ-3任一所示的结构：

6.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光引发剂选自双光子吸收的光引发剂；优选地，所述光引发剂包括二苯基乙二酮、2,2-二乙氧基-1-苯己酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、1-羟基环己基苯基甲酮、2-羟基-4-(2-羟乙氧基)-2-甲基苯丙酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉苯基)丁酮、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦中的一种或多种。

7.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，按重量份数计，所述光刻胶组合物包含5-95份功能单体，5-80份聚合物以及0.01-20份光引发剂；优选地，所述光刻胶组合物包含10-50份功能单体，10-60份聚合物以及0.01-10份光引发剂。

8.一种如权利要求1-7任意所述的光刻胶组合物在制备双重响应的微结构方面的应用，其特征在于，制备微结构的具体步骤为：

(1)在黄光暗室内将功能单体、光引发剂和聚合物按比例混合于棕色玻璃容器中，搅拌后得光刻胶组合物；

(2)取光刻胶组合物滴加在衬底上，使用飞秒激光对光刻胶组合物进行照射；

(3)将照射后的光刻胶组合物在显影液中进行显影，得到双重响应的微结构。

9.根据权利要求8所述的应用，其特征在于，所述衬底选自玻璃片、硅片、柔性树脂薄膜、石英片、蓝宝石或导电玻璃ITO。

10.根据权利要求8所述的应用，其特征在于，所述飞秒激光的波长为200-1100nm；飞秒激光功率范围为5-40mW；扫描速度范围为5-100μm/s。