[发明专利]一种铱配合物衍生物、制备方法及其应用有效
申请号: | 202210263819.1 | 申请日: | 2022-03-17 |
公开(公告)号: | CN114573641B | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 赵建章;温宇东;霍延平;籍少敏 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | C07F15/00 | 分类号: | C07F15/00;G03F7/004;G03F7/027 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 温福雪 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及光刻胶技术领域,涉及一种铱配合物衍生物、制备方法及其应用。本发明借助香豆素衍生物高摩尔吸收系数的性质,引入金属重原子铱原子加强其分子内的系间窜越,通过激发三重态,进而引发与共引发剂有效的发生电子转移,改变了光刻胶的敏感波长,并提高了光酸的产率,改善光刻胶组合物中的光敏性,进一步增强光刻胶的灵敏度、单体的交联能力、光刻胶的线宽粗糙度、分辨率、成膜能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 配合 衍生物 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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