[发明专利]一种掩膜板制作方法及掩膜板在审
| 申请号： | 202210252156.3 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN116463592A | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 王云升 | 申请（专利权）人： | 深圳市柯宝原科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;B24B9/04;B23K26/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区观澜街道大富*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜板制作方法及采用该方法制作形成的掩膜板，所述掩膜板制作方法包括：对作为掩膜的不锈钢片进行张网；对所述不锈钢片进行激光切割，形成需要的掩膜通孔图案；将切割好的不锈钢片焊接到掩膜板框上，去除多余部分获得掩膜板半成品；取另一不锈钢片制作保护片，对所述掩膜板半成品进行保护并打磨通孔边沿，清洗获得最终的掩膜板。由于本申请提供的掩膜板制作方法，采用打磨的方式去除了通孔边沿的毛刺等缺陷，提高了掩膜板的制造良率。本申请提供的掩膜板由于采用上述方法制作形成，避免了掩膜板通孔边沿毛刺等缺陷，因此能够提高掩膜板的质量和OLED蒸镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 制作方法 | ||
【主权项】：
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