[发明专利]一种掩膜板制作方法及掩膜板

说明书

本发明提供一种掩膜板制作方法及采用该方法制作形成的掩膜板，所述掩膜板制作方法包括：对作为掩膜的不锈钢片进行张网；对所述不锈钢片进行激光切割，形成需要的掩膜通孔图案；将切割好的不锈钢片焊接到掩膜板框上，去除多余部分获得掩膜板半成品；取另一不锈钢片制作保护片，对所述掩膜板半成品进行保护并打磨通孔边沿，清洗获得最终的掩膜板。由于本申请提供的掩膜板制作方法，采用打磨的方式去除了通孔边沿的毛刺等缺陷，提高了掩膜板的制造良率。本申请提供的掩膜板由于采用上述方法制作形成，避免了掩膜板通孔边沿毛刺等缺陷，因此能够提高掩膜板的质量和OLED蒸镀质量。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，更具体的说是涉及一种掩膜板制作方法其掩膜板。

背景技术

有机电致发光器件(OLED)以其低成本、高亮度、高对比度、响应快、低功耗、视角广、外观轻薄、可柔性显示等优点，被认为是下一代的平板显示装置。OLED具有依次堆叠在玻璃基板上的阳极、有机发光层和阴极。有机发光层的材料一般分为大分子有机材料和小分子有机材料。对于小分子有机材料，通常利用真空蒸镀的方法，在阳极上形成各有机功能层，最后再形成器件的阴极。

在采用蒸镀方法制作OLED薄膜的过程中，需要更换不同的掩膜板来沉积形成不同功能层。OLED镀膜掩膜板是由一种导磁性薄不锈钢片和导磁不锈钢外框构成。在现有技术中，薄钢片上预先开有各种矩形、圆形或其它类型的通孔，掩膜板在OLED制作中与OLED基板通过磁铁吸附在一起，在真空环境下有机材料或者金属蒸汽会沉积在未被不锈钢掩膜挡住的通孔区域而形成设计者所需的特定图案，被掩膜盖住部分没有材料沉积而被保护起来。在真空中，OLED基板与掩膜板通过磁铁吸附被悬于被蒸镀材料上方，由于基板上的图案精度很高，所以要求组成掩膜板的材料导磁性好，且开口线条非常平整、规则。

现有掩膜板的主流制作方法其中之一是采用激光切割的方法，先将钢片拉伸张紧然后用激光切割出蒸镀通孔，再焊接到到掩膜板框架上制得。该制作方法不需要用到化学药液，不会产生废液污染环境，所需的图案只需在激光切割机中输入设计图案，通过激光机的移动路径即可实现，张网也不需要特殊的张网机，制程简单。目前激光切割方法制造掩膜板存在一个较严重的问题是，激光切割的时候是采用一定波长的激光对不锈钢片进行烧灼以及给予部分下推的力，在切割边沿会造成披锋从而形成毛刺等不规则的边沿，这种缺陷在OLED蒸镀对位的过程中，会摩擦划伤OLED基板上的电路或有机材料层等，造成产品的大面积显示不良。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种掩膜板及其制作方法，改良现有激光切割制造掩膜板的方法，增加通孔边沿打磨的过程，解决了当前激光切割制作掩膜板会有毛刺等缺陷造成OLED基板划伤等问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种掩膜板制作方法，包括：

取一丝网，将其水平拉伸绷紧，取一铝框，在框体一面涂上胶水，然后将其贴在拉伸好的丝网上，胶水干燥粘接稳固后，沿铝框的外边沿将丝网裁下，制得网框；

取裁好的不锈钢片，在不锈钢片的一面的四周靠边沿处涂上胶水，将其居中水平贴在所述网框上，让不锈钢片与丝网互相粘住；

胶水干燥后，将不锈钢片下方的丝网裁掉，不锈钢片和铝框之间的丝网会将不锈钢片绷紧；

将绷紧的钢片放入激光切割机中，根据设计的图案，用激光切割出需要的通孔图案(即蒸镀孔)，制得不锈钢掩膜；

提供掩膜板框架，将切割好的带网框的不锈钢掩膜套在掩膜板框架上，将带通孔图案的不锈钢掩膜用激光焊接机焊接在掩膜板框架上；

利用激光切割机沿掩膜板框架外边沿将不锈钢片和网框切割去除，获得掩膜板半成品；

取另一不锈钢片，用激光切割机切割大通孔图案，该大通孔图案跟上述掩膜板半成品中的通孔图案一一对应，但是每个大通孔的开口都比掩膜板半成品中的通孔的开口大，制得不锈钢保护片；