[发明专利]一种掩膜板制作方法及掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板制作方法，其特征在于，包括：

取一丝网，将其水平拉伸绷紧，取一铝框，在框体一面涂上胶水，然后将其贴在拉伸好的丝网上，胶水干燥粘接稳固后，沿铝框的外边沿将丝网裁下，制得网框；

取裁好的不锈钢片，在不锈钢片的一面的四周靠边沿处涂上胶水，将其居中水平贴在所述网框上，让不锈钢片与丝网互相粘住；

胶水干燥后，将不锈钢片下方的丝网裁掉，不锈钢片和铝框之间的丝网将不锈钢片绷紧；

将绷紧的钢片放入激光切割机中，根据设计的图案，用激光切割出需要的通孔图案(即蒸镀孔)，制得不锈钢掩膜；

提供掩膜板框架，将切割好的带网框的不锈钢掩膜套在掩膜板框架上，将带通孔图案的不锈钢掩膜用激光焊接机焊接在掩膜板框架上；

利用激光切割机沿掩膜板框架外边沿将不锈钢片和网框切割去除，获得掩膜板半成品；

取另一不锈钢片，用激光切割机切割大通孔图案，该大通孔图案跟所述掩膜板半成品中的通孔图案一一对应，但是每个大通孔的开口都比掩膜板半成品中的通孔的开口大，制得不锈钢保护片；

将掩膜板半成品以不锈钢掩膜朝下，框架朝上放磁桌上，将不锈钢保护片盖在掩膜板半成品不锈钢掩膜上，使得只有不锈钢掩膜通孔边沿部分才露出，吸住保护片，用砂纸打磨不锈钢掩膜每个通孔边沿，去除毛刺；

将打磨后的掩膜板半成品，清洗后烘干获得最终的掩膜板成品。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，取裁好的不锈钢片，在钢片的一面的四周靠边沿处涂上胶水，将其居中水平贴在所述网框上，让不锈钢片与丝网互相粘住；所述的不锈钢片的尺寸比所述铝框的尺寸单边小5mm-50mm，包括端点值。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：激光切割出不锈钢通孔图案后，将连接不锈钢片和铝框的部分网纱割断。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的磁桌为通电即有磁性的电磁桌，所述磁桌的表面为大理石平面。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述清洗包括酸洗、碱洗、去离子水洗和有机溶剂清洗等步骤。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述烘干的温度为50-80℃，包括端点值。

7.一种掩膜板，其特征在于，包括：掩膜和位于所述掩膜外围的掩膜框，其中，所述掩膜板采用权利要求1-6任意一项所述的方法制作形成。

8.根据权利要求7所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板的掩膜框厚度范围为5mm-30mm，包括端点值。

9.根据权利要求8所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜的厚度为0.03～0.2mm，包括端点值。

10.根据权利要求7-9任意一项所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板的材质为金属、或金属合金、或不锈钢。