[发明专利]晶舟承载装置、桨臂位置的调节方法及半导体工艺设备

摘要

本发明提供一种舟头承载装置、桨臂位置的调节方法及半导体工艺设备，该装置包括用于承载晶舟的桨臂和调节机构，调节机构包括检测单元组、控制单元和两个调节单元，每个调节单元中，夹持部件用于夹持桨臂，且夹持部件沿桨臂的轴向分布；驱动组件与夹持部件传动连接，且能够驱动夹持部件沿竖直方向和第一水平方向移动；检测单元组中，竖直检测单元和水平检测单元分别用于检测桨臂的轴线在竖直方向和第一水平方向上的偏移；控制单元用于根据检测信号控制至少一个调节单元中的驱动组件动作，以将桨臂的轴线调节至标准轴线方向。本发明的技术方案，可以自动将桨臂调节至标准轴线方向，从而可以降低人工和时间成本，提高调节效率和调节精度。