[发明专利]晶舟承载装置、桨臂位置的调节方法及半导体工艺设备

权利要求书

1.一种晶舟承载装置，其特征在于，包括用于承载晶舟的桨臂和调节机构，所述调节机构用于将所述桨臂的轴线调节至标准轴线方向，且包括检测单元组、控制单元和两个调节单元，其中，

每个所述调节单元均包括夹持部件和驱动组件，所述夹持部件用于夹持所述桨臂，且所述夹持部件沿所述桨臂的轴向分布；所述驱动组件与所述夹持部件传动连接，且能够驱动所述夹持部件沿竖直方向和第一水平方向移动，所述竖直方向和所述第一水平方向均与所述标准轴线方向相互垂直；

所述检测单元组包括竖直检测单元和水平检测单元，所述竖直检测单元用于检测所述桨臂的轴线在所述竖直方向上的偏移，所述水平检测单元用于检测所述桨臂的轴线在所述第一水平方向上的偏移，并向所述控制单元发送检测信号；

所述控制单元用于根据所述检测信号控制至少一个所述调节单元中的所述驱动组件动作，以将所述桨臂的轴线调节至所述标准轴线方向。

2.根据权利要求1所述的晶舟承载装置，其特征在于，每个所述驱动组件均包括连接部件、第一驱动件和第二驱动件，其中，所述第一驱动件的驱动轴与所述连接部件固定连接，所述第一驱动件用于驱动所述连接部件和所述夹持部件沿所述竖直方向移动；

所述第二驱动件的驱动轴与所述夹持部件固定连接，所述连接部件在所述第一水平方向与所述夹持部件可移动连接，所述第二驱动件用于驱动所述夹持部件相对于所述连接部件沿所述第一水平方向移动。

3.根据权利要求2所述的晶舟承载装置，其特征在于，所述连接部件的下表面设置有凹部，所述夹持部件位于所述凹部中，且所述连接部件位于所述凹部两侧的侧壁上分别设置有导向孔；

所述第二驱动件的驱动轴自所述侧壁的远离所述凹部的一侧，沿所述第一水平方向穿过其中一个所述导向孔，并与所述夹持部件固定连接；

每个所述驱动组件均还包括两个压缩弹簧和导向轴，其中，所述导向轴可移动地穿设于另一个所述导向孔中，且所述导向轴的一端与所述夹持部件固定连接；所述夹持部件与所述连接部件的每个所述侧壁均具有间隔，每个所述压缩弹簧对应设置于所述间隔中，且所述压缩弹簧的一端与所述夹持部件固定连接，所述压缩弹簧的另一端与所述连接部件的所述侧壁固定连接，并且其中一个所述压缩弹簧套设在所述第二驱动件的所述驱动轴上，另一个所述压缩弹簧套设在所述导向轴上。

4.根据权利要求3所述的晶舟承载装置，其特征在于，在所述连接部件的位于所述凹部上方的顶壁上设置有阶梯槽；

每个所述驱动组件均还包括滑动件，所述滑动件的一端为滑动挂台，所述滑动挂台设置于所述阶梯槽中，所述滑动挂台可在所述阶梯槽内沿第一水平方向移动，以使所述滑动件能够沿所述第一水平方向移动；所述滑动件的另一端穿过所述阶梯槽，并与所述夹持部件固定连接。

5.根据权利要求4所述的晶舟承载装置，其特征在于，在所述连接部件的顶壁上还叠置有连接板，所述连接板与所述连接部件固定连接，所述第一驱动件的驱动轴与所述连接板固定连接。

6.根据权利要求3-5任意一项所述的晶舟承载装置，其特征在于，所述竖直检测单元和所述水平检测单元均包括两个激光传感器，所述激光传感器设置在其中一个所述调节单元中的所述连接部件上，该调节单元相对于另一个调节单元更靠近所述桨臂的用于承载晶舟的承载段；

所述竖直检测单元的两个所述激光传感器沿所述竖直方向分别位于所述夹持部件的两侧；所述水平检测单元的两个所述激光传感器沿所述第一水平方向分别位于所述夹持部件的两侧；四个所述激光传感器均用于沿所述标准轴线方向，且朝所述承载段所在一侧发出激光，并在该激光被所述桨臂遮挡时被触发向所述控制单元发送检测信号。

7.根据权利要求2-5任意一项所述的晶舟承载装置，其特征在于，所述第一驱动件和第二驱动件为气缸，或所述第一驱动件和第二驱动件为伺服电机。