[发明专利]一种碳化硅晶体生长用输送装置在审
| 申请号： | 202210215031.3 | 申请日： | 2022-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN114318541A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 陆敏;刘付冠;郑红军 | 申请（专利权）人： | 常州臻晶半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 钮云涛 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进国家高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于输送装置技术领域，具体涉及一种碳化硅晶体生长用输送装置，本碳化硅晶体生长用输送装置包括：进料机构、混料机构、气体注入机构、第一反应釜、第二反应釜和出料机构；混料机构对物料进行过滤、混料；气体注入机构进行抽气、注入反应气体，物料通过出料机构输出至相应储存罐内；本发明通过设置进料机构、混料机构能够对物料进行预混料，将物料混合充分后进入相应反应釜后进行反应，能够使反应更加长时间充分稳定，以提高反应效果及生产效率，同时设置气体注入机构能够使反应釜处于良好的反应环境，实现自动化出料，在第二反应釜内液面上方设置热容较大的移动低温冷块来实现固液界面的温度梯度调控，有助于籽晶上快速稳定结晶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体生长 输送 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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