[发明专利]一种硅片镀膜用的防落装置在审

专利信息
申请号: 202210207504.5 申请日: 2022-03-03
公开(公告)号: CN114540798A 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 刘翠翠;徐亮 申请(专利权)人: 江西汉可泛半导体技术有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;H01L31/18
代理公司: 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 代理人: 金一娴
地址: 332020 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明公开了一种硅片镀膜用的防落装置,包括:销钉;锯齿压块,设置在所述销钉上;夹持装置,设置在外部抓取装置上,随外部抓取装置一起运动将所述销钉插入载板上的销钉孔内或将所述销钉从销钉孔内脱离。发明采用销钉替代传统的盖板结构,简化了固定硅片的机构,增加了自动化实现的便利程度;压块锯齿型设计,以最大限度的减少压硅片的面积,从而增加了硅片整体镀膜的面积,无形中增加了每片硅电池的发电量,从而增加了最终发电量;整体采用圆形无角度设计,可以任意角度放置,方便取放;采用电磁铁,可稳固的固定硅片,防止硅片掉落或较大角度的倾斜,减少损坏率。
搜索关键词: 一种 硅片 镀膜 装置
【主权项】:
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