[发明专利]一种硅片镀膜用的防落装置在审
| 申请号: | 202210207504.5 | 申请日: | 2022-03-03 |
| 公开(公告)号: | CN114540798A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
| 发明(设计)人: | 刘翠翠;徐亮 | 申请(专利权)人: | 江西汉可泛半导体技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L31/18 |
| 代理公司: | 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 | 代理人: | 金一娴 |
| 地址: | 332020 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 硅片 镀膜 装置 | ||
本发明公开了一种硅片镀膜用的防落装置,包括:销钉;锯齿压块,设置在所述销钉上;夹持装置,设置在外部抓取装置上,随外部抓取装置一起运动将所述销钉插入载板上的销钉孔内或将所述销钉从销钉孔内脱离。发明采用销钉替代传统的盖板结构,简化了固定硅片的机构,增加了自动化实现的便利程度;压块锯齿型设计,以最大限度的减少压硅片的面积,从而增加了硅片整体镀膜的面积,无形中增加了每片硅电池的发电量,从而增加了最终发电量;整体采用圆形无角度设计,可以任意角度放置,方便取放;采用电磁铁,可稳固的固定硅片,防止硅片掉落或较大角度的倾斜,减少损坏率。
技术领域
本发明涉及硅片生产技术领域,尤其是一种硅片镀膜用的防落装置。
背景技术
现行的立式镀膜设备-热丝CVD设备,用于晶体硅太阳电池镀膜,作为镀膜用基片的硅片,一般采用盖板(整块大的材料,上面根据产品需要开孔)的方式,该方式因为盖板面积大,各个开孔的累计误差较大。为保持良好的固定效果,盖住硅片的面积盖板部分的设计面积会较大,造成浪费了一部分硅片的面积。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述技术问题,而提供一种硅片镀膜用的防落装置。
本发明的技术方案:一种硅片镀膜用的防落装置,包括:
销钉;
锯齿压块,设置在所述销钉上;
夹持装置,设置在外部抓取装置上,随外部抓取装置一起运动将所述销钉插入载板上的销钉孔内或将所述销钉从销钉孔内脱离。
优选的,所述销钉由上定位销和下定位销组成,所述上定位销通过螺栓与所述下定位销可拆卸地连接。
优选的,所述下定位销底部经倒角处理呈圆弧形。
优选的,所述销钉为不锈钢销钉。
优选的,所述夹持装置包括套杆和电磁铁,所述套杆底部开口且贯穿到套杆中部,所述电磁铁设置在所述套杆内。
优选的,所述套杆开口处经倒角处理呈圆弧形。
本发明的有益效果是:本发明采用销钉替代传统的盖板结构,简化了固定硅片的机构,增加了自动化实现的便利程度;压块锯齿型设计,以最大限度的减少压硅片的面积,从而增加了硅片整体镀膜的面积,无形中增加了每片硅电池的发电量,从而增加了最终发电量;整体采用圆形无角度设计,可以任意角度放置,方便取放;采用电磁铁,可稳固的固定硅片,防止硅片掉落或较大角度的倾斜,减少损坏率。
附图说明
图1是本发明优选实施例的整体结构立体图;
图2是本发明优选实施例中销钉剖视图;
图3是本发明优选实施例中套杆剖视图;
图4是本发明优选实施例中硅片防落示意图。
附图标记:销钉10、上定位销101、下定位销102、锯齿压块2、夹持装置3、套杆31、电磁铁32。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
参照图1至图4,一种硅片镀膜用的防落装置,包括:
销钉10;
锯齿压块2,设置在销钉10上;
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