[发明专利]一种硅片镀膜用的防落装置

权利要求书

1.一种硅片镀膜用的防落装置，其特征在于，包括：

销钉(10)；

锯齿压块(2)，设置在所述销钉(10)上；

夹持装置(3)，设置在外部抓取装置上，随外部抓取装置一起运动将所述销钉(10)插入载板上的销钉孔内或将所述销钉(10)从销钉孔内脱离。

2.根据权利要求1所述的一种硅片镀膜用的防落装置，其特征在于：所述销钉(10)由上定位销(101)和下定位销(102)组成，所述上定位销(101)通过螺栓与所述下定位销(102)可拆卸地连接。

3.根据权利要求2所述的一种硅片镀膜用的防落装置，其特征在于：所述下定位销(102)底部经倒角处理呈圆弧形。

4.根据权利要求1所述的一种硅片镀膜用的防落装置，其特征在于：所述销钉(10)为不锈钢销钉。

5.根据权利要求1所述的一种硅片镀膜用的防落装置，其特征在于：所述夹持装置(3)包括套杆(31)和电磁铁(32)，所述套杆(31)底部开口且贯穿到套杆(31)中部，所述电磁铁(32)设置在所述套杆(31)内。

6.根据权利要求1所述的一种硅片镀膜用的防落装置，其特征在于：所述套杆(31)开口处经倒角处理呈圆弧形。