[发明专利]一种用于半导体生产的单晶炉在审
| 申请号： | 202210207337.4 | 申请日： | 2022-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN114672873A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 梁芷欣 | 申请（专利权）人： | 梁芷欣 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 合肥左心专利代理事务所(普通合伙) 34152 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 510000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶炉设备技术领域，且公开了一种用于半导体生产的单晶炉，包括单晶炉本体，所述单晶炉本体内设有坩埚和旋转管，所述旋转管贯穿单晶炉的底部和保温层与坩埚固定连接，所述旋转管可旋转可轴向移动，所述坩埚的内壁设有倾斜的第一导向件和第二导向件。该用于半导体生产的单晶炉，在二次加料时，通过储液环暂时储存硅液，在加料后再使液体回流到坩埚中，避免加料使硅液的溅射，保证单晶炉内的其他部件表面不被污染，同时直接在高温时直接加料，减少了能源的消耗，降低生产成本，其次，在需要排出废液时，通过旋转管的旋转将废液甩入排液管中，并通过旋转管直接排出，在不停炉的前提下，对废液进行清理，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 生产 单晶炉 | ||
【主权项】：
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