[发明专利]一种外延结构及其外延生长方法、LED芯片在审

专利信息
申请号: 202210199467.8 申请日: 2022-03-01
公开(公告)号: CN114583024A 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 贾钊;窦志珍;兰晓雯;杨琦;胡加辉;金从龙;顾伟 申请(专利权)人: 江西兆驰半导体有限公司
主分类号: H01L33/06 分类号: H01L33/06;H01L33/00;H01L33/10;H01L33/12;H01L33/14
代理公司: 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 代理人: 刘红伟
地址: 330000 江西省南昌市南*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明提供一种外延结构及其外延生长方法、LED芯片,外延结构包括衬底、外延生长于衬底上的N型覆盖层、以及外延生长于N型覆盖层上的多量子阱层,多量子阱层包括多对交替生长的量子阱层和量子垒层;其中,N型覆盖层的Si掺浓度大于3e17,并且量子阱层和量子垒层的对数随N型覆盖层的Si掺浓度的增加而增加。此外,本发明通过增加N型覆盖层的Si掺浓度,提高了N层载流子浓度,这样在同等条件下,载流子迁移机率增加,使得外延PN结复合效率上升。此外,随着N型覆盖层的掺杂浓度的增加,还让多量子阱层同步增加垒和阱的对数,提高了载流子溢流的极限,使得光强饱和值上升,从而使同制程下芯片可得到的亮度更高。
搜索关键词: 一种 外延 结构 及其 生长 方法 led 芯片
【主权项】:
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