[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 202210174848.0 | 申请日： | 2022-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN114959621A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 河合慈;高桥宣之;富井广树;樱井克荣 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54;C23C14/04;C23C14/56;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够更适当地进行吸附板对基板的吸附的技术。成膜装置具备：将内部保持为真空的腔室；设置在腔室的内部并对基板进行吸附的吸附板(15)；以及设置在腔室的内部且具有在吸附板(15)的下方对基板(100)进行支承的多个基板载置部(62、63)的基板支承部(6)，所述成膜装置具备：对腔室的内部保持为真空的状态下的相对于吸附板(15)的多个基板载置部(62、63)的各自的高度进行检知的检知机构(801)；在腔室的内部保持为真空的状态下，基于检知机构(81)的检知结果，调节多个基板载置部(62、63)的各自的基板(100)的载置位置的调节机构(811)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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