[发明专利]一种动态检测装置及化学机械平坦化设备

摘要

本发明公开了一种动态检测装置，包括：发射单元；反馈单元，用于接收发射单元发出的光束；发射单元和反馈单元分别设于晶圆传输手或晶圆清洗模组；发射单元和反馈单元分别位于晶圆的两侧，当晶圆传输手上夹持有晶圆时，该晶圆可阻挡光束；发射单元或反馈单元随着晶圆传输手移动，可与晶圆清洗模组的任一反馈单元或发射单元配合，用于检测两者之间的光路内是否有晶圆，以判断晶圆传输手上是否夹持有晶圆。本发明还公开了一种化学机械平坦化设备。本发明可以实时检测每个或任意一个晶圆传输手上是否夹持有晶圆；晶圆传输手的移动通道不会被阻隔，移动更加灵活；实现了动态检测，可选择性地与任意晶圆清洗模组配合进行检测。