[发明专利]一种铌靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202210161788.9 | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN115125461B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;陈石;廖培君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/18 | 分类号： | C22F1/18;C22F1/02;C23C14/34;C23G1/10 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铌靶材及其制备方法，铌铸锭依次经过一次锻造、一次酸洗、一次真空退火、二次锻造、二次酸洗、二次真空退火、错位轧制、三次酸洗和三次真空退火，得到铌靶材；本发明所述制备方法将两次锻造和错位轧制相结合，两次锻造破坏靶材内部的晶粒结构，使得晶粒尺寸变小，错位轧制使得靶材内部的晶粒更均匀，再结合三次热处理过程，制得了晶粒尺寸小、晶粒取向均匀的铌靶材；且工艺操作简便，制备成本较低，适用性广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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