[发明专利]一种铌靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种铌靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：

（1）将铌铸锭依次进行一次锻造、一次酸洗和一次真空退火，得到第一坯料；

（2）将步骤（1）所得第一坯料依次进行二次锻造、二次酸洗和二次真空退火，得到第二坯料；

（3）将步骤（2）所得第二坯料依次进行错位轧制、三次酸洗和三次真空退火，得到铌靶材；

步骤（3）所述错位轧制中，上轧辊和下轧辊的轴线位错量为4~8mm；

步骤（3）所述错位轧制中，上轧辊和下轧辊的转动速度相等，均为0.5~1rad/s；

步骤（3）所述错位轧制的变形量≥80%；

步骤（3）所述三次真空退火的温度为850~1000℃。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述铌铸锭的纯度≥99.9%。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述一次锻造的方式为先轴向拔长，再径向墩粗。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述一次锻造中，所述轴向拔长的变形量为50~80%。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述一次锻造中，所述径向墩粗的变形量为50~80%。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述一次锻造的温度为400~600℃。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述一次酸洗、步骤（2）所述二次酸洗和步骤（3）所述三次酸洗使用的酸洗液均为市售硫酸、市售氢氟酸和市售硝酸的混合酸液。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述混合酸液中，所述市售硫酸、市售氢氟酸和市售硝酸的质量比为1:(1~3):(2~5)。

9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述市售硫酸的浓度为98%。

10.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述市售氢氟酸的浓度为40%。

11.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述市售硝酸的浓度为65%。

12.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述一次酸洗、步骤（2）所述二次酸洗和步骤（3）所述三次酸洗的时间均为2~5min。

13.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述一次真空退火和步骤（2）所述二次真空退火的温度均为1000~1200℃。

14.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述一次真空退火和步骤（2）所述二次真空退火的真空度均≤0.2Pa。

15.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述一次真空退火和步骤（2）所述二次真空退火的时间均为1~3h。

16.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）所述二次锻造的方式为径向墩粗。

17.根据权利要求16所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）所述二次锻造中，所述径向墩粗的变形量为40~60%。

18.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）所述二次锻造的温度为400~600℃。

19.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（3）所述错位轧制在轧机中进行。