[发明专利]一种铝钛铌三元合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201810044756.4 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108220700B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 余鹏 | 申请（专利权）人： | 长沙迅洋新材料科技有限公司;湖南汇动新材料有限公司 |
| 主分类号： | C22C21/00 | 分类号： | C22C21/00;C22C14/00;C22C30/00;B22F3/14;B22F3/24;C23C14/32 |
| 代理公司： | 长沙轩荣专利代理有限公司 43235 | 代理人： | 黄艺平 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市雨*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种铝钛铌合金靶材及其制备方法，该铝钛铌靶材由以下原子百分比的原料制成：铝 50%~75%；钛 25~40%；铌 0.5~25%。本发明还包括铝钛铌合金靶材的粉末热压烧结和真空热处理方法。本发明利用铝、钛、铌之间原子扩散实现冶金结合，在温度和压力的共同作用下，获得致密度高的铝钛铌三元合金靶材，是一种短流程、易操作的粉末冶金靶材生产过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝钛铌 三元 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铝钛铌三元合金靶材，以原子百分比计，至少包含50%的铝，至多含有25%的钛。
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