[发明专利]一种滤波器芯片及其加工方法在审
| 申请号： | 202210121014.3 | 申请日： | 2022-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN114465590A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 吴现伟;汪洋 | 申请（专利权）人： | 上海萍生微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/46 |
| 代理公司： | 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 | 代理人： | 王风平 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种滤波器芯片及其加工方法，涉及滤波器技术领域；所述滤波器芯片包括晶圆，晶圆上设有芯片有效区；芯片有效区外设有划片道；芯片的有效区内设有谐振器和焊盘；焊盘通过金属线路连接谐振器；焊盘的植球区域内植有锡球；锡球和谐振器以外芯片的有效区表面覆盖二氧化硅保护层。本发明的滤波器芯片的谐振器区域没有覆盖二氧化硅保护层，保持谐振器灵活输入输出和高频转换功能；减少了二氧化硅保护层对滤波器芯片性能的影响，提高了滤波器的谐振能效，特别是高频滤波器抗干扰效果更强。通过在助焊剂刷胶植球钢网上设置与晶圆上谐振器对应的半刻蚀空腔，避免了谐振器加工过程中出现受损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波器 芯片 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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