[发明专利]一种匀流板、进气装置及外延设备在审
| 申请号： | 202210109814.3 | 申请日： | 2022-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN114481309A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 刘自强;燕春;杨进 | 申请（专利权）人： | 江苏天芯微半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/14;C30B25/16;C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 朱成之;张妍 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种匀流板，用于外延设备的进气装置，包含：匀流板主体，包括相对的第一平面以及第二平面；多个第一台阶和多个第二台阶，多个所述第一台阶设置于所述第一平面，多个所述第二台阶设置于所述第二平面；所述多个第一台阶分别与所述多个第二台阶位置对应；多组通孔，每一组通孔对应设置于一个第一台阶，所述通孔依序穿设所述第一台阶、匀流板主体、第二台阶，用于在所述外延设备的工艺期间提供通过所述匀流板的气体通道；多个所述第一台阶、多个所述第二台阶分别嵌入进气焊件、进气插入件内，用于减小匀流板与进气焊件、进气插入件之间的间隙，防止匀流板的振动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 匀流板 装置 外延 设备 | ||
【主权项】：
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