[发明专利]一种匀流板、进气装置及外延设备

权利要求书

1.一种匀流板，用于外延设备的进气装置，所述进气装置包括进气焊件、进气插入件，及设置在进气焊件、进气插入件之间的匀流板，其特征在于，包含：

匀流板主体，包括相对的第一平面以及第二平面；

多个第一台阶和多个第二台阶，多个所述第一台阶设置于所述第一平面，多个所述第二台阶设置于所述第二平面；所述多个第一台阶分别与所述多个第二台阶位置对应；

多组通孔，每一组通孔对应设置于一个第一台阶，所述通孔依序穿设所述第一台阶、匀流板主体、第二台阶，用于在所述外延设备的工艺期间提供通过所述匀流板的气体通道；

多个所述第一台阶、多个所述第二台阶分别嵌入进气焊件、进气插入件内，用于减小匀流板与进气焊件、进气插入件之间的间隙，防止匀流板的振动。

2.如权利要求1所述匀流板，其特征在于，匀流板主体具有一字型结构，多个第一台阶沿匀流板主体的长度方向分布，相邻的第一台阶之间设有间隔；多个第二台阶沿匀流板的长度方向分布，相邻的第二台阶之间设有间隔。

3.如权利要求2所述匀流板，其特征在于，沿匀流板主体的长度方向，多个第一台阶的长度相同或不同。

4.如权利要求2所述匀流板，其特征在于，匀流板主体的拐角为圆角。

5.如权利要求2所述匀流板，其特征在于，第一台阶为圆角矩形台阶、圆形台阶、椭圆形台阶中的任一种，第二台阶为圆角矩形台阶、圆形台阶、椭圆形台阶中的任一种。

6.如权利要求1所述匀流板，其特征在于，沿垂直于第一平面的方向，第一台阶的厚度为1mm～1cm，第二台阶的厚度为1mm～1cm。

7.如权利要求1所述匀流板，其特征在于，同一组所述通孔均匀分布；不同组的所述通孔之间具有相同或不同的分布密度。

8.如权利要求1所述匀流板，其特征在于，所述通孔的横截面为圆形，通孔的中心轴垂直于第一平面。

9.如权利要求8所述匀流板，其特征在于，不同组的所述通孔的孔径相同或者不同。

10.如权利要求1所述匀流板，其特征在于，所述匀流板的材料为石英或不锈钢。

11.一种进气装置，用于外延设备，其特征在于，包含：进气焊件，进气插入件，以及如权利要求1至10任一所述的匀流板；

所述进气焊件设置在进气插入件第一端，进气焊件朝向进气插入件的第一表面设有连通外部工艺气体源的多个第一凹槽；

进气插入件，其内部设有与多个第一凹槽位置分别对应的多个第一通道；

所述匀流板设置在进气焊件与进气插入件之间；匀流板的多个第一台阶分别嵌入设置在多个第一凹槽内，第一台阶的外型面匹配第一凹槽的内型面；匀流板的多个第二台阶分别嵌入设置在多个第一通道内，第二台阶的外型面匹配第一通道的内型面；匀流板的各组通孔分别连通对应的第一凹槽及第一通道。

12.如权利要求11所述的进气装置，其特征在于，所述匀流板主体的第一平面贴合所述第一表面；匀流板主体的第二平面贴合进气插入件第一端的端面。

13.如权利要求11所述的进气装置，其特征在于，所述进气插入件内部设有多个隔板，通过所述多个隔板将进气插入件内部空间分隔为多个第一通道。

14.如权利要求13所述的进气装置，其特征在于，所述隔板垂直于匀流板主体的第二平面。

15.一种外延设备，其特征在于，包含：

反应室和如权利要求11至14任一所述的进气装置；所述进气装置与所述反应室连接，用于向反应室输送工艺气体。