[发明专利]一种转移装置、转移方法及显示装置在审
| 申请号： | 202210101615.8 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN116564871A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 董小彪;葛泳;王岩;王磊;林佳桦;宋玉华;王一涛;盛翠翠;钱先锐;黄秀颀 | 申请（专利权）人： | 成都辰显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/683;H01L23/544;H01L33/00 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 611731 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种转移装置、转移方法及显示装置，转移装置包括供给基板，供给基板用于将待转移件提供给目标基板，目标基板包括用于接收待转移件的至少两个转移区域，每一转移区域包括第二对位标记组，供给基板包括至少一个第一对位标记组，其中，在供给基板将待转移件提供给目标基板的过程中，供给基板依次与所述至少两个转移区域进行对位，供给基板的第一对位标记组与对应转移区域的第二对位标记组对位。通过上述方式，能够有效提高大批量待转移件的转移效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转移 装置 方法 显示装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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