[发明专利]一种转移装置、转移方法及显示装置在审
申请号: | 202210101615.8 | 申请日: | 2022-01-27 |
公开(公告)号: | CN116564871A | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 董小彪;葛泳;王岩;王磊;林佳桦;宋玉华;王一涛;盛翠翠;钱先锐;黄秀颀 | 申请(专利权)人: | 成都辰显光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683;H01L23/544;H01L33/00 |
代理公司: | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人: | 丁建春 |
地址: | 611731 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转移 装置 方法 显示装置 | ||
1.一种转移装置,其包括供给基板,所述供给基板用于将待转移件提供给目标基板,所述目标基板包括用于接收所述待转移件的至少两个转移区域,每一所述转移区域包括第二对位标记组,其特征在于,所述供给基板包括:
至少一个第一对位标记组,其中,在所述供给基板将所述待转移件提供给所述目标基板的过程中,所述供给基板依次与所述至少两个转移区域进行对位,所述供给基板的所述第一对位标记组与对应所述转移区域的所述第二对位标记组对位。
2.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述供给基板包括至少两个所述第一对位标记组,至少两个所述第一对位标记组依次分别与至少两个所述转移区域的所述第二对位标记组对位。
3.根据权利要求2所述的转移装置,其特征在于,至少两个所述第一对位标记组沿第二方向排列,所述第一对位标记组包括多个第一对位标记,相邻两个所述第一对位标记组中的其中一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记与另一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记混合排列。
4.一种转移方法,其特征在于,包括如下步骤:
S101、提供转移装置,所述转移装置包括供给基板,所述供给基板具有待转移件,所述供给基板包括至少一个第一对位标记组;
S102、提供用于接收所述待转移件的目标基板,所述目标基板包括至少两个转移区域,且每个所述转移区域包括第二对位标记组;
S103、将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的其中一个所述转移区域进行对位,所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位,选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件,以使所述待转移件转移至当前所述转移区域;
S104、将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的另一个所述转移区域进行对位,所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位,选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件,以使所述待转移件转移至当前所述转移区域。
5.根据权利要求4所述的转移方法,其特征在于,在步骤S101中,所述供给基板包括至少两个第一对位标记组,至少两个所述第一对位标记组沿第二方向排列,所述第一对位标记组包括多个第一对位标记,相邻两个所述第一对位标记组中的其中一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记与另一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记混合排列。
6.根据权利要求5所述的转移方法,其特征在于,
在步骤S103中,将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的其中一个所述转移区域进行对位,所述至少两个第一对位标记组中的其中一个所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位,选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件,以使所述待转移件转移至当前所述转移区域;
在步骤S104中,将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的另一个所述转移区域进行对位,所述至少两个第一对位标记组中的另一个所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位,选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件,以使所述待转移件转移至当前所述转移区域。
7.根据权利要求4所述的转移方法,其特征在于,在步骤S102中,至少两个所述转移区域沿第一方向和/或第二方向排布,且所述第一方向和所述第二方向垂直;在所述第一方向和/或所述第二方向上,相邻两个所述转移区域的所述第二对位标记组对齐设置。
8.根据权利要求7所述的转移方法,其特征在于,所述第二对位标记组包括多个第二对位标记,在所述第一方向和/或所述第二方向上,相邻的两个所述转移区域共用至少部分所述第二对位标记。
9.根据权利要求4所述的转移方法,其特征在于,在步骤S102中,至少两个所述转移区域沿第一方向和/或第二方向排布,且所述第一方向和所述第二方向垂直;在所述第一方向和/或所述第二方向上,相邻两个所述转移区域的所述第二对位标记组错位设置。
10.一种显示装置,其特征在于,包括:
目标基板和设置于所述目标基板上的待转移件,其中,所述待转移件采用如权利要求4-9任一项所述的转移方法转移至所述目标基板上。
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