[发明专利]一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置

摘要

本发明公开了一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，溅射靶材安装定位装置包括底座、升降机构、靶材提放螺栓和靶材定位插销，底座的拐角处均匀安装有四组滚轮，升降机构内置底座的内部且由驱动电机、皮带、丝杠、滑块和升降杆组成，驱动电机垂直安装于底座上且动力输出端通过皮带与丝杠相连接，丝杠垂直安装于底座内且底端与底座转动连接，滑块螺纹穿插于丝杠上且外端与升降杆相连接，升降杆的下端固定于底座上且外端连接有交叉式支撑机构。本发明设计了一种专门用于物理气相沉积装备溅射靶材进行拆装和定位的装置，该装置在靶材移出与安装时，采用机械机构操作，避免人员受伤，避免靶材和设备受损。