[发明专利]一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置

权利要求书

1.一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，包括溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述溅射靶材安装定位装置包括底座(1)、升降机构(2)、靶材提放螺栓(3)和靶材定位插销(4)，所述底座(1)的拐角处均匀安装有四组滚轮(5)，所述升降机构(2)内置底座(1)的内部且由驱动电机(6)、皮带(7)、丝杠(8)、滑块(9)和升降杆(10)组成，所述驱动电机(6)垂直安装于底座(1)上且动力输出端通过皮带(7)与丝杠(8)相连接，所述丝杠(8)垂直安装于底座(1)内且底端与底座(1)转动连接，所述滑块(9)螺纹穿插于丝杠(8)上且外端与升降杆(10)相连接，所述升降杆(10)的下端固定于底座(1)上且外端连接有交叉式支撑机构(11)，所述交叉式支撑机构(11)的下端连接有两组支架(12)，所述靶材提放螺栓(3)分设有若干组且螺纹固定于支架(12)上，若干组所述靶材提放螺栓(3)的下端螺纹连接有靶材本体(13)，所述靶材定位插销(4)分设有若干组且螺纹穿插于交叉式支撑机构(11)上。

2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述底座(1)的外围垂直安装有四组侧板(14)且内部形成有安装槽(15)，所述侧板(14)上安装有调节按钮(16)，所述调节按钮(16)通过线路与驱动电机(6)相连接。

3.根据权利要求2所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述交叉式支撑机构(11)由主筒(17)、提升杆(18)、支撑板(19)、交叉杆(20)和连接块(21)组成，所述主筒(17)的底部固定于底座(1)上，所述提升杆(18)活动穿插于主筒(17)且外端与滑块(9)相连接，所述支撑板(19)水平安装于提升杆(18)的顶部，所述交叉杆(20)安装有支撑板(19)的外端且下方与连接块(21)相连接，所述连接块(21)分设有两组且对称安装于支架(12)的上方。

4.根据权利要求3所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述交叉杆(20)由两组横杆(22)组成，两组所述横杆(22)呈交叉状设置且连接的中心位置与支撑板(19)的外端相连接。

5.根据权利要求3所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述支架(12)和连接块(21)上均开设有若干组定位孔，若干组所述定位孔包括四组定位孔一(23)和四组定位孔二(24)，所述定位孔一(23)距离支架(12)的中心位置为八寸，所述定位孔二(24)距离支架(12)的中心位置为十二寸。

6.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述靶材提放螺栓(3)包括手动提升手柄(25)和垂直固定于手动提升手柄(25)下方的螺杆(26)，所述螺杆(26)螺纹穿插于靶材本体(13)。

7.根据权利要求6所述的一种物理气相沉积装备溅射靶材安装定位装置，其特征在于：所述靶材本体(13)的外围开设有螺纹孔(27)，所述螺杆(26)的下端螺纹穿插于螺纹孔(27)内。