[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202210015164.6 | 申请日: | 2022-01-07 |
公开(公告)号: | CN115911085A | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 河野洋志;大桥辉之;尾形昂洋 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L27/07 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 朴勇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种半导体装置,具备:第一电极;第二电极;栅极电极,沿第一方向延伸;以及碳化硅层,具有第一面和第二面,包括:第一导电型的第一碳化硅区,具有第一区、与栅极电极相向的第二区以及与第一电极相接的第三区;第二区与第三区之间的第二导电型的第二碳化硅区;第二导电型的第三碳化硅区,在与第二碳化硅区之间夹着第二区;第二导电型的第四碳化硅区,在与第二碳化硅区之间夹着第三区;第一导电型的第五碳化硅区;第二导电型的第六碳化硅区,设置于第一区与第二碳化硅区之间;以及第二导电型的第七碳化硅区,在第一区与第二碳化硅区之间,在第一方向上与第六碳化硅区分开地设置。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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