[发明专利]生长氮化物膜的方法在审
| 申请号： | 202210011192.0 | 申请日： | 2022-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN116154067A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 李惠龙;崔泳畯;吴海坤 | 申请（专利权）人： | 卢密基恩科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/32;H01L33/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郑元博 |
| 地址： | 韩国京畿道光*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据示例性实施例的生长氮化物膜的方法包括：将衬底装入到生长空间中；以及在衬底上生长氮化物膜，其中生长氮化物膜可包括：使第一反应气体与源原料反应，以向生长空间供应所产生的气体；向生长空间供应第二反应气体；及向生长空间供应含氧气体及含氢气体。因此，根据示例性实施例，即使当氮化物膜形成得薄时，也可对氮化物膜的上表面进行平坦化。因此，可减少生长或形成氮化物膜直到其上表面被平坦化所需的工艺时间，且因此，具有提高生产率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 生长 氮化物 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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