[发明专利]一种脉冲阻尼器及半导体设备有效
| 申请号： | 202210007994.4 | 申请日： | 2022-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN114017575B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 时新宇;赵天翔;王大权;李旭 | 申请（专利权）人： | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | F16L55/054 | 分类号： | F16L55/054;F16L55/055 |
| 代理公司： | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 龚心怡 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种脉冲阻尼器及半导体设备，该脉冲阻尼器包括形成密封空腔的遮蔽壳体，以及设置于遮蔽壳体内的液体囊；密封空腔被液体囊隔离以形成体积可变的液体腔以及气体腔，遮蔽壳体设置与气体腔连通的出气阀，出气阀包括出气阀体，出气阀体形成供气体排出气体腔的出气通道及与出气通道连通的通气孔；出气阀体内置被出气通道活动收容的活动启闭组件，以通过液体流经液体囊所导致的液体腔的体积变化而触发活动启闭组件遮蔽与暴露通气孔。通过本申请，减小了液体管路系统内的液体在通过循环泵输送的过程中而产生的压力脉冲值并减弱了液体对液体管路系统的冲击，消除了水锤现象，从而在液体管路系统中通过阻尼原理，实现了对输送液体的整流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 阻尼 半导体设备 | ||
【主权项】：
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