[发明专利]具有TDI传感器的重新取样在审
申请号: | 202180074791.0 | 申请日: | 2021-08-08 |
公开(公告)号: | CN116420164A | 公开(公告)日: | 2023-07-11 |
发明(设计)人: | D·西奈;I·S·哈基姆 | 申请(专利权)人: | 奥宝科技有限公司 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 刘媛媛 |
地址: | 以色列*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开用于检验电路的设备,其包含:扫描器,其包含:至少一个多线路时间延迟积分(TDI)传感器,其具有传感器像素的多个平行线路,所述多个线路沿扫描轴彼此分离达分离距离,所述传感器像素中的每一者具有沿所述扫描轴的传感器像素尺寸;线性移位器,其提供所述TDI传感器及将要检验的电路沿所述扫描轴的相互位移;及扫描光学器件,其将从所述电路反射的光引导到所述传感器像素,所述扫描光学器件界定每一传感器像素到所述电路上的投影,所述投影界定光从其到达每一传感器像素的所述电路上的面积,每一投影具有沿所述扫描轴的传感器像素投影尺寸;及图像产生器,其从所述TDI传感器的复合输出像素构造图像。 | ||
搜索关键词: | 具有 tdi 传感器 重新 取样 | ||
【主权项】:
暂无信息
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