[发明专利]具有TDI传感器的重新取样

权利要求书

1.一种用于检验电路的设备，其包括：

扫描器，其包含：

至少一个多线路时间延迟积分(TDI)传感器，其具有传感器像素的多个平行线路，所述平行线路中的每一者沿线轴延伸，传感器像素的所述多个线路沿垂直于所述线轴的扫描轴彼此分离达分离距离，所述传感器像素中的每一者具有沿所述扫描轴的传感器像素尺寸；

线性移位器，其提供所述多线路TDI传感器及将要检验的电路沿所述扫描轴的相互位移；及

扫描光学器件，其将从所述电路反射的光引导到所述传感器像素，所述扫描光学器件界定所述传感器像素中的每一者到所述电路上的投影，其中所述投影界定光从其到达所述传感器像素中的每一者的所述电路上的面积，所述投影具有沿所述扫描轴的传感器像素投影尺寸；

所述TDI传感器及所述线性移位器可操作使得所述多线路TDI传感器及所述将要检验的电路在其每一线路的获取期间沿所述扫描轴的相互位移的距离大于沿所述扫描轴的所述传感器像素投影尺寸，及

图像产生器，其经配置以从所述多线路TDI传感器的复合输出像素构造图像，其中所述图像包括每一者具有沿所述扫描轴的复合图像收集轮廓的多个所述复合输出像素，所述复合图像收集轮廓具有沿所述扫描轴的大于所述传感器像素投影尺寸的尺寸。

2.根据权利要求1所述的用于检验电路的设备，其中所述复合输出像素每一者包括从位于所述TDI传感器的不同线路处的多个所述传感器像素获取的多个部分重叠的输出像素，由所述多个传感器像素中的每一者获取的所述输出像素中的每一者包含所述电路的至少一个相同特征。

3.根据权利要求2所述的用于检验电路的设备，其中所述多个部分重叠的输出像素每一者具有沿所述扫描轴的输出像素投影尺寸，所述输出像素投影尺寸包括所述传感器像素投影尺寸结合所述多线路TDI传感器及所述将要检验的电路在所述多个平行线路中的每一者的获取期间沿所述扫描轴的所述相互位移超过所述传感器像素投影尺寸的范围。

4.根据权利要求1所述的用于检验电路的设备，其中传感器像素的所述多个平行线路之间的所述分离距离等于所述传感器像素尺寸的整数倍。

5.根据权利要求1所述的用于检验电路的设备，其中传感器像素的所述多个平行线路之间的所述分离距离等于零。

6.根据权利要求1所述的用于检验电路的设备，其中所述线性移位器是双向线性移位器。

7.根据权利要求1所述的用于检验电路的设备，其中所述多线路TDI传感器及所述将要检验的电路在其每一线路的获取期间沿所述扫描轴的相互位移的所述距离超过沿所述扫描轴的所述传感器像素投影尺寸达操作者可选择范围。

8.根据权利要求1所述的用于检验电路的设备，其进一步包括操作者可选择的相互位移选择器，其经配置用于所述多线路TDI传感器及所述将要检验的电路在其每一线路的获取期间沿所述扫描轴的相互位移的所述距离的操作者选择。