[发明专利]具有TDI传感器的重新取样

说明书

本发明公开用于检验电路的设备，其包含：扫描器，其包含：至少一个多线路时间延迟积分(TDI)传感器，其具有传感器像素的多个平行线路，所述多个线路沿扫描轴彼此分离达分离距离，所述传感器像素中的每一者具有沿所述扫描轴的传感器像素尺寸；线性移位器，其提供所述TDI传感器及将要检验的电路沿所述扫描轴的相互位移；及扫描光学器件，其将从所述电路反射的光引导到所述传感器像素，所述扫描光学器件界定每一传感器像素到所述电路上的投影，所述投影界定光从其到达每一传感器像素的所述电路上的面积，每一投影具有沿所述扫描轴的传感器像素投影尺寸；及图像产生器，其从所述TDI传感器的复合输出像素构造图像。

相关申请案的交叉引用

特此参考受让人的以下美国专利，其全部内容以引用的方式并入本文中：2008年8月26日发布的第7,417,243号美国专利；2006年10月31日发布的第7,129,509号美国专利；及2006年3月7日发布的第7,009,163号美国专利。

技术领域

本发明大体上涉及电路的自动检验。

背景技术

已知用于电路的机器检验的各种类型的自动检验设备及方法。

通常期望尽可能快地检验电路以便实现检验机的最大处理量。由采用线路传感器的机器检验给定电路所需的时间受限于两个因素：线路传感器的最小线路获取时间及最大像素大小。获取时间越短且像素大小越大，扫描越快。

最小线路获取时间是所采用的线路传感器的固有特性。

像素大小由机器的光学器件管控且表示放大程度，较小像素大小对应于较高放大程度。需要检验的特征越小，用于检验此类特征的最大像素大小越小。最大像素大小越小，检验越慢。

因此，对于每一给定检验任务，期望选择将能够检验必须检验的最小特征的最大像素大小。

可选择像素大小的范围越大，检验机器中的光学器件的复杂性及成本越大。

发明内容

本发明寻求提供用于在无伴随的可选择放大光学器件的复杂性及成本的情况下检验具有增强可选择像素大小范围的电路的改进设备及方法。

所述设备及方法希望能够在可选择空间分辨率下采用时间延迟积分(TDI)检验电路以优化每一检验任务的处理量，但不需要改变光学放大。

因此，根据本发明的实施例，提供用于检验电路的设备，其包含：扫描器，其包含：至少一个多线路时间延迟积分(TDI)传感器，其具有每一者沿线轴延伸的传感器像素的多个平行线路，传感器像素的所述多个线路沿垂直于所述线轴的扫描轴彼此分离达分离距离，所述传感器像素中的每一者具有沿所述扫描轴的传感器像素尺寸；线性移位器，其提供所述多线路TDI传感器及将要检验的电路沿所述扫描轴的相互位移；及扫描光学器件，其将从所述电路反射的光引导到所述传感器像素，所述扫描光学器件界定每一传感器像素到所述电路上的投影，所述投影界定光从其到达每一传感器像素的所述电路上的面积，每一所述投影具有沿所述扫描轴的传感器像素投影尺寸，所述TDI传感器及所述线性移位器可操作使得所述多线路TDI传感器及所述将要检验的电路在其每一线路的获取期间沿所述扫描轴的相互位移的距离大于沿所述扫描轴的所述传感器像素投影尺寸；及图像产生器，其从所述多线路TDI传感器的复合输出像素构造图像，所述图像包含每一者具有沿所述扫描轴的复合图像收集轮廓的多个复合输出像素，所述复合图像收集轮廓具有沿所述扫描轴的大于所述传感器像素投影尺寸的尺寸。