[发明专利]用于聚合物沉积的系统和方法在审
| 申请号： | 202180037530.1 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN115667576A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | W·姗娜·奥沙赫内斯西;安德鲁·格兰特;凯利·J·伯恩;米切尔·E·斯塔津斯基;希尔顿·普莱斯·刘易斯 | 申请（专利权）人： | GVD公司 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李新红;陈平 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开总体上提供了具有一个或多个有利于在基材上沉积氟化聚合物涂层的特征的系统，以及采用这样的系统来沉积这样的涂层的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 聚合物 沉积 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
