[发明专利]用于聚合物沉积的系统和方法

说明书

本公开总体上提供了具有一个或多个有利于在基材上沉积氟化聚合物涂层的特征的系统，以及采用这样的系统来沉积这样的涂层的方法。

技术领域

总体地提供了用于将氟化聚合物沉积到基材上的系统和方法。

背景技术

化学气相沉积可用于沉积氟化聚合物涂层。然而，用于执行这样的过程的一些系统可能会表现出导致不均匀涂层、不一致涂层和/或需要不期望的频繁修复和/或调整的一个或多个缺陷。

因此，需要用于沉积氟化聚合物涂层的改进系统和方法。

发明内容

本公开内容总体上提供了用于将氟化聚合物涂层沉积到基材上的系统及相关方法。在一些情况下，本文描述的主题涉及相互关联的产品、对于特定问题的替代解决方案和/或一个或多个系统和/或制品的多种不同用途。

在一些实施方案中，提供了一种沉积室。所述沉积室包括反应容积。所述反应容积与包含六氟环氧丙烷蒸气的工艺气体源(或称为“工艺气体的源部”)以及真空源(或称为“真空的源部”)流体连通。所述反应容积被配置为使所述工艺气体在其中一维流动通过。所述反应容积能够通过所述真空源抽空空气。所述反应容积包括采取导线(wire)形式的灯丝(长丝，filament)，所述灯丝被配置为在向其施加电压时温度升高。所述导线被配置为加热所述六氟环氧丙烷蒸气，由此引起其发生分解。所述反应容积由多个壁和底座围成。所述壁和所述底座中的至少一个是可移动的，和/或包括可移动部分。所述反应容积的尺寸能够通过移动以下各项而被改变：所述可移动壁中的一个或多个、所述可移动底座、和/或一个或多个壁和/或所述底座中的一个或多个可移动部分。

在一些实施方案中，沉积室包括反应容积。所述反应容积与包含六氟环氧丙烷蒸气的工艺气体源以及真空源流体连通。所述反应容积被配置为使所述工艺气体在其中一维流动通过。所述反应容积能够通过所述真空源排空空气。所述反应容积包括采取导线形式的灯丝，所述灯丝被配置为在向其施加电压时温度升高。所述导线被配置为加热所述六氟环氧丙烷蒸气，由此引起其发生分解。所述反应容积由多个壁和底座围成。所述底座的至少一部分是可旋转的。

在一些实施方案中，提供了一种方法。所述方法包括移动围成反应容积的壁和/或底座的至少一部分。所述反应容积位于沉积室中。所述反应容积与包含六氟环氧丙烷蒸气的工艺气体源以及真空源流体连通。反应容积被配置为使所述工艺气体在其中一维流动通过。所述反应容积能够通过所述真空源排空空气。所述反应容积包括采取导线形式的灯丝，所述灯丝被配置为在向其施加电压时温度升高。所述导线被配置为加热所述六氟环氧丙烷蒸气，由此引起其发生分解。所述反应容积由多个壁和底座围成。移动所述沉积室的所述壁和/或所述底座的一部分和/或整体使得所述反应容积的尺寸得到改变。

在一些实施方案中，一种方法包括旋转底座的至少一部分，所述底座与多个壁一起围成反应容积。所述反应容积位于沉积室中。所述反应容积与包含六氟环氧丙烷蒸气的工艺气体源以及真空源流体连通。所述反应容积被配置为使所述工艺气体在其中一维流动通过。所述反应容积能够通过所述真空源排空空气。所述反应容积包括采取导线形式的灯丝，所述灯丝被配置为在向其施加电压时温度升高。所述导线被配置为加热所述六氟环氧丙烷蒸气，由此引起其发生分解。

在一些实施方案中，提供了一种方法。所述方法包括将电压和拉伸力施加至采取导线形式的灯丝。所述导线位于包含至多10mT_orr的空气并且包含六氟环氧丙烷蒸气的反应容积中。所述反应容积位于沉积室中。所述电压引起所述导线的温度升高。所述导线加热所述六氟环氧丙烷蒸气，由此引起其发生分解。所施加的拉伸力与形成所述导线的材料的额定拉伸强度的比率在所述灯丝的温度下为大于或等于0.6。