[发明专利]用于聚合物沉积的系统和方法

权利要求书

1.一种沉积室，所述沉积室包括：

反应容积，其中：

所述反应容积与包含六氟环氧丙烷蒸气的工艺气体源以及真空源流体连通；

所述反应容积被配置为使所述工艺气体在其中一维流动通过；

所述反应容积能够通过所述真空源排空空气；

所述反应容积包括采取导线形式的灯丝，所述灯丝被配置为在向其施加电压时升高温度；

所述导线被配置为加热所述六氟环氧丙烷蒸气，由此引起其发生分解；

所述反应容积由多个壁和底座围成；

所述壁和所述底座中的至少一个是可移动的和/或包括可移动部分；并且

所述反应容积的尺寸能够通过移动以下各项而发生改变：所述可移动壁中的一个或多个、所述可移动底座、和/或一个或多个壁和/或所述底座中的一个或多个可移动部分。

2.一种方法，所述方法包括：

移动围成反应容积的壁和/或底座的至少一部分，其中：

所述反应容积位于沉积室中；

所述反应容积与包含六氟环氧丙烷蒸气的工艺气体源以及真空源流体连通；

所述反应容积被配置为使所述工艺气体在其中一维流动通过；

所述反应容积能够通过所述真空源排空空气；

所述反应容积包括采取导线形式的灯丝，所述灯丝被配置为在向其施加电压时升高温度；

所述导线被配置为加热所述六氟环氧丙烷蒸气，由此引起其发生分解；

所述反应容积由多个壁和底座围成；并且

移动所述沉积室的所述壁和/或所述底座的一部分和/或整体改变所述反应容积的尺寸。

3.一种沉积室，所述沉积室包括：

反应容积，其中：

所述反应容积与包含六氟环氧丙烷蒸气的工艺气体源以及真空源流体连通；

所述反应容积被配置为使所述工艺气体在其中一维流动通过；

所述反应容积能够通过所述真空源抽空空气；

所述反应容积包括采取导线形式的灯丝，所述灯丝被配置为在向其施加电压时升高温度；

所述导线被配置为加热所述六氟环氧丙烷蒸气，由此引起其发生分解；

所述反应容积由多个壁和底座围成；并且

所述底座的至少一部分是可旋转的。

4.一种方法，所述方法包括：

旋转底座的至少一部分，所述底座与多个壁一起围成反应容积，其中：

所述反应容积位于沉积室中；

所述反应容积与包含六氟环氧丙烷蒸气的工艺气体源以及真空源流体连通；

所述反应容积被配置为使所述工艺气体在其中一维流动通过；

所述反应容积能够通过所述真空源抽空空气；

所述反应容积包括采取导线形式的灯丝，所述灯丝被配置为在向其施加电压时升高温度；并且

所述导线被配置为加热所述六氟环氧丙烷蒸气，由此引起其发生分解。

5.一种方法，所述方法包括：

向采取导线形式的灯丝施加电压和拉伸力，其中：

所述导线位于反应容积中，所述反应容积包含至多10mT_orr的空气并且包含六氟环氧丙烷蒸气；

所述反应容积位于沉积室中；

所述电压引起所述导线来升高温度；

所述导线加热所述六氟环氧丙烷蒸气，由此引起其发生分解；并且

所施加的拉伸力与形成所述导线的材料的额定拉伸强度的比率在所述灯丝的温度下为大于或等于0.6。

6.一种系统，所述系统包括：

包括反应容积的沉积室；和

至少部分地位于所述反应容积内的灯丝，其中：

所述反应容积能够包含六氟环氧丙烷蒸气并且通过真空源排空空气；

所述灯丝采取导线的形式，所述灯丝被配置为在向其施加电压时升高温度；

所述灯丝被配置为加热所述六氟环氧丙烷蒸气，由此引起其发生分解；

所述灯丝能够被稳定地设置在第一位置处；

所述灯丝能够被稳定地设置在第二位置处；

所述第二位置不同于所述第一位置；并且

所述灯丝不能够被稳定地设置在位于所述第一位置和所述第二位置之间的第三位置处。