[发明专利]高频电源装置及其输出控制方法在审
| 申请号： | 202180021281.7 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN115316047A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 藤原武;安田祐哉;片渕龙平;儿岛宽之 | 申请（专利权）人： | 株式会社京三制作所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;金慧善 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使是分别生成同步脉冲和时钟脉冲的构造，也能够使输出的高频脉冲的相位始终一致的高频电源装置及其输出控制方法。一种高频电源装置及其输出控制方法，该高频电源装置基于同步脉冲和时钟脉冲向对象装置输出高频脉冲，该高频电源装置的输出控制方法根据同步脉冲的输出定时信息分别生成周期基准信号，根据输出电平信息生成输出电平信号，基于上述周期基准信号对输出停止时间进行计时，并且生成输出停止信号，接收周期基准信号、输出电平信号以及时钟脉冲，在基于这些信号形成高频脉冲时，在接收上述输出停止信号的期间，停止输出电平信号的发送。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 电源 装置 及其 输出 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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