[发明专利]高频电源装置及其输出控制方法在审
| 申请号： | 202180020909.1 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN115280903A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 藤原武;儿岛宽之;河合悟史 | 申请（专利权）人： | 株式会社京三制作所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;金慧善 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种即使是分别生成同步脉冲和时钟脉冲的结构，也能够使输出的高频脉冲的相位始终一致的高频电源装置及其输出控制方法。一种高频电源装置及其输出控制方法，该高频电源装置基于同步脉冲和时钟脉冲向对象装置输出高频脉冲，该高频电源装置的输出控制方法包括如下步骤：检测同步脉冲的1个周期的周期时间，并且判别1个周期前的同步脉冲和时钟脉冲的相位差；基于周期时间和相位差运算下一个周期振荡的振荡频率和脉冲个数；基于振荡频率信号生成时钟脉冲，并且基于周期基准信号、电平设定信号、脉冲个数信号和时钟脉冲形成高频脉冲时，决定用于抵消1个周期前的相位差的下一个周期的振荡频率和脉冲个数，以使下一个周期的周期时间经过后的相位固定。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 电源 装置 及其 输出 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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