[实用新型]一种半导体加工用检测设备有效
| 申请号： | 202123282802.0 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN216988736U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 朱剑峰;黄季前;朱红巍;沙东升;杜团祥 | 申请（专利权）人： | 南通同方半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 南京华恒专利代理事务所(普通合伙) 32335 | 代理人： | 宋方园 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体加工用检测设备，包括底座，所述底座的顶部固定连接有工作台，所述工作台的顶部固定连接有支架，所述支架的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部设置有清理组件，所述顶板的底部固定安装有检测设备。该半导体加工用检测设备，通过电机带动偏心轮进行转动，偏心轮会推动活动块进行移动，活动块带动支杆连接的清理刷进行移动，当推动活动块朝正面移动时，会拉伸弹簧，当偏心轮与活动块脱离后，弹簧发生复位会将活动块拉回，偏心轮在电机的始终转动下，会带动清理刷重复移动，从而将检测设备进行擦拭清理，起到了自动清理的作用，从而利用检测设备对样品进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 工用 检测 设备 | ||
【主权项】：
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