[实用新型]一种半导体加工用检测设备

说明书

本实用新型涉及一种半导体加工用检测设备，包括底座，所述底座的顶部固定连接有工作台，所述工作台的顶部固定连接有支架，所述支架的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部设置有清理组件，所述顶板的底部固定安装有检测设备。该半导体加工用检测设备，通过电机带动偏心轮进行转动，偏心轮会推动活动块进行移动，活动块带动支杆连接的清理刷进行移动，当推动活动块朝正面移动时，会拉伸弹簧，当偏心轮与活动块脱离后，弹簧发生复位会将活动块拉回，偏心轮在电机的始终转动下，会带动清理刷重复移动，从而将检测设备进行擦拭清理，起到了自动清理的作用，从而利用检测设备对样品进行检测。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体加工用检测设备。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。

在对半导体进行生产时，需要对半导体抽样检测，例如进行图像检测半导体的尺寸或封装情况，由于长时间的使用，一般的检测设备不具备自动清理镜头的作用，导致需要人工经常进行维护，及其的不方便，故而提出一种半导体加工用检测设备来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体加工用检测设备，具备可自动进行清理等优点，解决了需要人工经常进行维护，及其的不方便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用检测设备，包括底座，所述底座的顶部固定连接有工作台，所述工作台的顶部固定连接有支架，所述支架的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部设置有清理组件，所述顶板的底部固定安装有检测设备。

所述清理组件包括有与顶部固定连接的支撑架，所述支撑架的外表面固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有偏心轮，所述顶板顶部的左右两侧均固定连接有套管，两个所述套管的内壁均固定连接有弹簧，两个所述远离套管的一端固定连接有活动板，两个所述活动板远离弹簧的一侧固定连接有活动杆，两个所述活动杆相对的一侧固定连接有活动块，所述活动块底部的左右两侧均固定连接有支杆，两个所述支杆相对的一侧固定连接有清理刷。

进一步，所述顶板的顶部开设有数量为两个的限位槽，所述活动块的底部开设有数量为两个的连接槽，两个所述连接槽的内部均活动连接有滚轮，所述滚轮位于连接槽的内部。

进一步，所述顶板的内部开设有数量为两个的滑孔，两个所述滑孔的内部与支杆活动连接。

进一步，所述支撑架呈U形，且支撑架与顶板呈平行状。

进一步，两个所述套管通过支撑杆与顶板固定连接，且支撑杆与顶板的连接角度为九十度。

进一步，两个所述套管相互之间平行，所述支杆呈L形。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

该半导体加工用检测设备，通过电机带动偏心轮进行转动，偏心轮会推动活动块进行移动，活动块带动支杆连接的清理刷进行移动，由于套管的内壁连接有弹簧，当推动活动块朝正面移动时，活动块移动时，滚轮在限位槽中移动，从而可保证活动块的稳定性，会拉伸弹簧，当偏心轮与活动块脱离后，弹簧发生复位会将活动块拉回，偏心轮在电机的始终转动下，会带动清理刷重复移动，从而将检测设备进行擦拭清理，起到了自动清理的作用，从而利用检测设备对样品进行检测。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构俯视图；

图3为本实用新型图1中A部局部放大图。