[实用新型]一种半导体加工用检测设备

权利要求书

1.一种半导体加工用检测设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有工作台(2)，所述工作台(2)的顶部固定连接有支架(3)，所述支架(3)的顶部固定连接有顶板(4)，所述顶板(4)的顶部设置有清理组件(5)，所述顶板(4)的底部固定安装有检测设备(6)；

所述清理组件(5)包括有与顶部固定连接的支撑架(501)，所述支撑架(501)的外表面固定连接有电机(502)，所述电机(502)的输出轴固定连接有偏心轮(503)，所述顶板(4)顶部的左右两侧均固定连接有套管(504)，两个所述套管(504)的内壁均固定连接有弹簧(505)，两个远离所述套管(504)的一端固定连接有活动板(506)，两个所述活动板(506)远离弹簧(505)的一侧固定连接有活动杆(507)，两个所述活动杆(507)相对的一侧固定连接有活动块(508)，所述活动块(508)底部的左右两侧均固定连接有支杆(509)，两个所述支杆(509)相对的一侧固定连接有清理刷(510)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备，其特征在于：所述顶板(4)的顶部开设有数量为两个的限位槽(9)，所述活动块(508)的底部开设有数量为两个的连接槽(7)，两个所述连接槽(7)的内部均活动连接有滚轮(8)，所述滚轮(8)位于连接槽(7)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备，其特征在于：所述顶板(4)的内部开设有数量为两个的滑孔，两个所述滑孔的内部与支杆(509)活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备，其特征在于：所述支撑架(501)呈U形，且支撑架(501)与顶板(4)呈平行状。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备，其特征在于：两个所述套管(504)通过支撑杆与顶板(4)固定连接，且支撑杆与顶板(4)的连接角度为九十度。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备，其特征在于：两个所述套管(504)相互之间平行，所述支杆(509)呈L形。