[实用新型]半导体封装结构有效

专利信息
申请号: 202123124464.8 申请日: 2021-12-13
公开(公告)号: CN216773255U 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 邱盈达;周卫;仲野英一 申请(专利权)人: 美光科技公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L25/18
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 王龙
地址: 美国爱*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请是关于半导体封装结构。在本申请的一实施例中,半导体封装结构可包括第一载板和第二裸片。第一载板可具有第一表面和第二表面,其中第一载板为第一裸片或衬底。第二裸片可接合至第一载板,且第二裸片具有第三表面及第四表面,该第四表面与第三表面相对且面对第一载板的第一表面。第二裸片具有从第三表面贯穿至第四表面的至少一个第一通孔。本申请提供的半导体封装结构通过设置第二裸片中的第一通孔而实现消除在第一载板与第二裸片的键合工艺期间形成于第一载板与第二裸片之间的颗粒和空隙。
搜索关键词: 半导体 封装 结构
【主权项】:
暂无信息
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