[实用新型]用于复合材料气相沉积炉的供气组件有效
申请号: | 202122981855.5 | 申请日: | 2021-11-30 |
公开(公告)号: | CN216427405U | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 李梅;刘峰 | 申请(专利权)人: | 常州曙光电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;B08B1/00 |
代理公司: | 常州中润迅达专利代理事务所(普通合伙) 32624 | 代理人: | 李静 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及气相沉积炉供气技术领域,尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的供气组件,解决了现有气相沉积炉供气的气孔易出现堵塞的情况,影响生产效率的缺点,包括供气壳体以及设置在供气壳体端部的端盖,供气壳体的内部设置有供气内胆,所述端盖的端部内侧通过螺栓固定有刮除电机,所述刮除电机的输出轴套接固定有转板,所述转板的表面设置有挡板,转板的表面还设置有刮板,在供气壳体端部设置端盖,并安装刮除电机,通过刮除电机驱动转板转动,从而推动转板底部连接的刮板作用在供气内胆的外表面,从而利用刮板表面的硬质毛刷对气孔内堵塞物进行刮除,有效防止了气孔堵塞的情况。 | ||
搜索关键词: | 用于 复合材料 沉积 供气 组件 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的