[实用新型]用于复合材料气相沉积炉的供气组件

说明书

本实用新型涉及气相沉积炉供气技术领域，尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的供气组件，解决了现有气相沉积炉供气的气孔易出现堵塞的情况，影响生产效率的缺点，包括供气壳体以及设置在供气壳体端部的端盖，供气壳体的内部设置有供气内胆，所述端盖的端部内侧通过螺栓固定有刮除电机，所述刮除电机的输出轴套接固定有转板，所述转板的表面设置有挡板，转板的表面还设置有刮板，在供气壳体端部设置端盖，并安装刮除电机，通过刮除电机驱动转板转动，从而推动转板底部连接的刮板作用在供气内胆的外表面，从而利用刮板表面的硬质毛刷对气孔内堵塞物进行刮除，有效防止了气孔堵塞的情况。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积炉供气技术领域，尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的供气组件。

背景技术

气相沉积炉是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种设备，在中温、高温或者常压下都可以进行反应，化学气相沉积法不但可以对晶体或者晶体薄膜性能的改善有所帮助，现有的气相沉积炉供气设备存在气孔堵塞的情况，需要频繁进行停机维护，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有气相沉积炉供气的气孔易出现堵塞的情况，影响生产效率的缺点，而提出的用于复合材料气相沉积炉的供气组件。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

用于复合材料气相沉积炉的供气组件，包括供气壳体以及设置在供气壳体端部的端盖，供气壳体的内部设置有供气内胆，所述端盖的端部内侧通过螺栓固定有刮除电机，所述刮除电机的输出轴套接固定有转板，所述转板的表面设置有挡板，转板的表面还设置有刮板。

优选的，所述供气壳体的顶部胶黏有密封垫，所述密封垫的顶部与转板的底部抵触。

优选的，所述供气壳体的顶部开设有弧形通槽，所述挡板的下表面与弧形通槽顶部抵触，且刮板的端部贯穿弧形通槽并延伸至供气内胆与供气壳体之间。

优选的，所述供气内胆的表面均匀分布开设有气孔，所述刮板的表面胶黏有硬质毛刷，所述硬质毛刷与供气内胆的外表面抵触。

优选的，所述供气壳体的底部设置有呈倒置的引气斗，所述引气斗的端部与供气壳体与供气内胆之间连通。

本实用新型的有益效果是：

1、在供气壳体端部设置端盖，并安装刮除电机，通过刮除电机驱动转板转动，从而推动转板底部连接的刮板作用在供气内胆的外表面，从而利用刮板表面的硬质毛刷对气孔内堵塞物进行刮除，有效防止了气孔堵塞的情况；

2、转板的底部还分别设置有密封垫和挡板，通过密封垫防止气体跑出，同时利用挡板盖住除刮板以外的弧形通槽，进一步的提高密封性。

附图说明

图1为本实用新型提出的用于复合材料气相沉积炉的供气组件的结构示意图；

图2为本实用新型提出的用于复合材料气相沉积炉的供气组件的剖视结构示意图；

图3为本实用新型提出的用于复合材料气相沉积炉的供气组件的转板仰视结构示意图；

图4为本实用新型提出的用于复合材料气相沉积炉的供气组件的图2中的A处局部放大结构示意图。

图中：1、供气壳体；2、端盖；3、刮除电机；4、供气内胆；5、引气斗；6、气孔；7、转板；8、挡板；9、密封垫；10、刮板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。