[实用新型]用于复合材料气相沉积炉的供气组件

权利要求书

1.用于复合材料气相沉积炉的供气组件，包括供气壳体（1）以及设置在供气壳体（1）端部的端盖（2），供气壳体（1）的内部设置有供气内胆（4），其特征在于，所述端盖（2）的端部内侧通过螺栓固定有刮除电机（3），所述刮除电机（3）的输出轴套接固定有转板（7），所述转板（7）的表面设置有挡板（8），转板（7）的表面还设置有刮板（10）。

2.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的供气组件，其特征在于，所述供气壳体（1）的顶部胶黏有密封垫（9），所述密封垫（9）的顶部与转板（7）的底部抵触。

3.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的供气组件，其特征在于，所述供气壳体（1）的顶部开设有弧形通槽，所述挡板（8）的下表面与弧形通槽顶部抵触，且刮板（10）的端部贯穿弧形通槽并延伸至供气内胆（4）与供气壳体（1）之间。

4.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的供气组件，其特征在于，所述供气内胆（4）的表面均匀分布开设有气孔（6），所述刮板（10）的表面胶黏有硬质毛刷，所述硬质毛刷与供气内胆（4）的外表面抵触。

5.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的供气组件，其特征在于，所述供气壳体（1）的底部设置有呈倒置的引气斗（5），所述引气斗（5）的端部与供气壳体（1）与供气内胆（4）之间连通。