[实用新型]一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置有效
| 申请号： | 202122967549.6 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN216622212U | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 李有群;卓世异;贺贤汉;周国栋;孙大方 | 申请（专利权）人： | 安徽微芯长江半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，包括底座和固定安装在底座顶部一侧的检测箱，还包括检修机构、调节支撑机构、光源调节机构、旋转检测机构和角度调节机构，所述检修机构固定安装在检测箱内壁两侧，本实用新型通过设置有调节支撑机构和旋转检测机构，拉动抽板使抽板带动滑轮在滑轨内部移动抽出，从而带动电动升降套杆移动抽出，可以更加便捷的对晶片进行放置，工作人员无需将手伸入检测箱内部，使晶片的放置更加的稳定，避免晶片位置偏移，影响检查的效果，再推动防滑垫使防滑垫带动底部的活动钩与活动块两侧相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀 碳化硅 晶片 微管 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
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