[实用新型]一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置

说明书

本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，包括底座和固定安装在底座顶部一侧的检测箱，还包括检修机构、调节支撑机构、光源调节机构、旋转检测机构和角度调节机构，所述检修机构固定安装在检测箱内壁两侧，本实用新型通过设置有调节支撑机构和旋转检测机构，拉动抽板使抽板带动滑轮在滑轨内部移动抽出，从而带动电动升降套杆移动抽出，可以更加便捷的对晶片进行放置，工作人员无需将手伸入检测箱内部，使晶片的放置更加的稳定，避免晶片位置偏移，影响检查的效果，再推动防滑垫使防滑垫带动底部的活动钩与活动块两侧相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，特别是涉及一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置。

背景技术

碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势，目前对与微管缺陷的观察主要是通过显微观察的方式，对微管所表现出的特征形貌对其进行区分和测定。

目前使用的检测装置在使用时通常无法更加便捷的对晶片的的位置进行调节，且通常在防止晶片时容易出现偏移的情况，影响对晶片表面的观察，同时无法便捷的对晶片的各个角度进行检测，使用不够便捷。

因此，现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本实用新型提供了一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置。

本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是：一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，包括底座和固定安装在底座顶部一侧的检测箱，还包括检修机构、调节支撑机构、光源调节机构、旋转检测机构和角度调节机构，所述检修机构固定安装在检测箱内壁两侧，所述调节支撑机构固定安装在检测箱内部，所述调节支撑机构包括固定安装在检测箱内部的支撑板、两个分别固定安装在支撑板顶部两侧的滑轨、多个分别配合安装在两个滑轨内部的滑轮、活动安装在多个滑轮顶部的抽板和固定安装在抽板顶部的电动升降套杆，所述光源调节机构固定安装在检修机构内壁两侧，所述旋转检测机构固定安装在检测箱内壁顶部，所述角度调节机构固定安装在底座顶部一侧。

优选的，所述检修机构包括两个分别开设在检测箱底部两侧的安装槽、多个分别固定安装在两个安装槽内部的电动推杆、两个分别固定安装在多个电动推杆的伸缩端的活动板、两个分别固定安装在两个活动板一侧的侧板、多个分别通过多个固定螺栓拧紧固定在检测箱顶部两侧的额固定块。

优选的，所述调节支撑机构还包括放置槽、支撑台、防滑垫、多个分别固定安装在支撑台顶部两侧的活动块和多个分别配合安装在多个活动块内侧的活动钩，所述放置槽固定安装在电动升降套杆的伸缩端，所述支撑台固定安装在放置槽内部，所述防滑垫固定安装在多个活动钩一侧。

优选的，所述光源调节机构包括两个分别固定安装在两个侧板一侧的第一连接板、两个分别固定安装在两个第一连接板一侧的丝杆滑台、两个分别固定安装在两个丝杆滑台的滑动块一侧的连接块、两个分别开设在两个连接块一侧的卡槽、两个分别固定安装在两个卡槽内侧的卡块和两个分别固定安装在两个卡块一侧的补光灯。

优选的，所述旋转检测机构包括安装杆、电动转盘、转台和显微摄像头，所述安装杆固定安装在检测箱内壁顶部，所述电动转盘固定安装在安装杆底端，所述转台固定安装在电动转盘底部，所述显微摄像头固定安装在转台底部一侧。

优选的，所述角度调节机构包括安装板、第二连接板、旋转台、显示器、插孔、限位杆和多个分别开设在第二连接板顶部两侧的限位孔，所述安装板固定安装在底座顶部一侧，所述第二连接板固定安装在安装板顶部，所述旋转台固定安装在第二连接板顶部，所述显示器固定安装在旋转台顶部，所述插孔开设在旋转台一侧。