[实用新型]晶圆清洁装置及晶圆清洁设备有效
| 申请号： | 202122561109.0 | 申请日： | 2021-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN216026941U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 兰升友;徐瑞林;易熊军;文成龙;王浪 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/08;B08B3/04;H01L21/67;H01L21/02;G01N27/06 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 成亚婷 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆清洁装置及晶圆清洁设备。晶圆清洁装置包括：清洗槽体和阻值监测计。清洗槽体包括：清洗槽、旁流槽以及隔板。旁流槽设置于清洗槽的旁侧。隔板设置于旁流槽和清洗槽之间。隔板上设有多个连通结构，连通结构用于连通清洗槽和旁流槽，以使清洗槽体内的晶圆清洗液在清洗槽和旁流槽之间流通。阻值监测计设置于旁流槽内，用于对晶圆清洗液进行阻值监测。上述晶圆清洁装置能够快速准确地监测晶圆清洗液的阻值，以提升晶圆的清洗效率和清洗良率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 设备 | ||
【主权项】：
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