[实用新型]一种VDMOS芯片及其电路应用结构有效
| 申请号: | 202122088554.X | 申请日: | 2021-08-31 |
| 公开(公告)号: | CN215896409U | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
| 发明(设计)人: | 杨正友;任炜强;谢文华 | 申请(专利权)人: | 深圳真茂佳半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L23/552;H03K17/687;H03K7/08 |
| 代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 朱鹏程 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本申请涉及一种VDMOS芯片及其电路应用结构,包括半导体基座,半导体基座分为源区、漂移区和基体区,源区上贯穿设置有沟槽,且沟槽贯穿漂移区并延伸到基体区中,源区和基体区极性相同,源区和漂移区极性相反;基体区远离漂移区的一侧设置有漏极金属层,源区远离漂移区的一侧设置有源极金属层;沟槽内设置有栅极金属层,栅极金属层与沟槽内壁之间设置有绝缘层;栅极金属层上设置有屏蔽层,屏蔽层的两端分别延伸至沟槽两侧的源区上;栅极金属层上设置有栅极引出线,栅极引出线穿设在屏蔽层上且端部位于屏蔽层外。本申请具有消除VDMOS芯片内部高速开关引起的高频谐振从沟槽中辐射至外界,减小对外围电路的电磁干扰的效果。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 vdmos 芯片 及其 电路 应用 结构 | ||
【主权项】:
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