[实用新型]多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构有效
| 申请号： | 202122059153.1 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN217292350U | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 冯琳;胡启凡 | 申请（专利权）人： | 上海广川科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J15/08 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 马盼;吴世华 |
| 地址： | 200444 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，包括底座、与底座相垂直且与底座相互水平滑动的基板、间隔均匀且水平设置的2M+1个末端执行器、2M个直角三角形楔形块、和驱动基板滑动的滑动机构；其中每一个直角三角形楔形块的底边长度相同；当滑动机构推动基板向楔形块设置侧移动时，各末端执行器之间的等间距变大，反之变小。因此，本发明可以应用于不同间距的晶圆存储装置之间的传片，对于不同间距的晶圆存储装置，使用可变间距的末端执行器以取放晶圆，不仅满足了高精度定位避免损伤晶圆的要求，且结构简单和稳定可靠寿命长，即在保证精度的同时，亦可兼顾经济性。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 间距 可变 晶圆搬送 机械手 结构 | ||
【主权项】：
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