[实用新型]多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构

权利要求书

1.一种多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，包括底座、与所述底座相垂直且与所述底座相互水平滑动的基板、间隔均匀且水平设置的2M+1个末端执行器、2M个直角三角形楔形块、和驱动所述基板滑动的滑动机构；其中，M的取值为正整数，每一个所述直角三角形楔形块的底边长度相同；

所述2M+1个末端执行器按上下位置分成为三组，第一末端执行器组包括M个末端执行器，第二末端执行器组包括一个末端执行器，第三末端执行器组包括M个末端执行器，所述第二末端执行器组水平固设于所述基板基准中心并与所述基板相垂直，第一末端执行器组和第三末端执行器组中末端执行器分别以所述第二末端执行器组为中心对称设置；

所述2M块直角三角形楔形块等间距垂直地设置于所述基板的一侧，且以所述第二末端执行器组为中心，分成数量相同的上下两组，M块上直角三角形楔形块与所述基板向下成锐角，M块下直角三角形楔形块与所述基板向上成锐角；M块上直角三角形楔形块的侧边长度从所述中心往上以1N、2N…nN倍长度增加，M块下直角三角形楔形块的侧边长度从所述中心往下以1N、2N…nN倍长度增加；

所述末端执行器包括具有晶圆搭载部、固定手部和滑动接口部；所述固定手部使所述晶圆搭载部和滑动接口部相固接；所述第一末端执行器组和所述第二末端执行器组中的每一个所述滑动接口部分别同相应的所述直角三角形楔形块的楔形面滑动连接；所述的滑动连接为滑槽连接结构；

当所述滑动机构推动所述基板向所述楔形块设置侧移动时，各所述末端执行器之间的等间距变大，反之变小。

2.根据权利要求1所述的多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，还包括导向柱，所述导向柱垂直设置于所述底座上，在所述导向柱设置有2M个与相应的所述末端执行器的固定手部相接触连接的直线轴承，当所述末端执行器之间的间距变大或变小时，所述直线轴承沿所述导向柱上下滑动。

3.根据权利要求1所述的多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，所述滑动机构包括丝杠、联轴器和电机组。

4.根据权利要求1所述的多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，所述滑动机构包括气缸。

5.根据权利要求1所述的多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，还包括机械限位装置，所述机械限位装置通过限定所述基板的移动距离，来限定所述晶圆搬送机械手之间的间距变化幅度。

6.根据权利要求5所述的多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，所述机械限位装置设置于所述底座上。

7.根据权利要求5所述的多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，M为4。

8.根据权利要求7所述的多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，所述上直角三角形楔形块组和下直角三角形楔形块组分别包括2个直角三角形楔形块，所述上直角三角形楔形块组中的2个直角三角形楔形块的底部和/或所述下直角三角形楔形块组2个直角三角形楔形块的底部相抵接。

9.根据权利要求1所述的多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构，其特征在于，所述楔形面的材质与所述滑动接口部的材质相同，或不同。