[实用新型]一种晶圆清洗回收机有效
| 申请号： | 202121828612.1 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN215844429U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 贺贤汉;杉原一男;佐藤泰幸;原英樹 | 申请（专利权）人： | 上海申和投资有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆清洗回收机，包括清洗回收机和出料机构，所述清洗回收机的顶部贯穿有旋转机构，所述清洗回收机的外壁两侧均安装有可左右滑动的滑动机构，所述滑动机构内电动滑块带动海绵层在第一滑轨上同一水平线滑动，所述滑动机构的下方安装有可上下升降的出料机构，本实用新型通过设置有活动块、第一滑轨、电动滑块、海绵层和静电吸盘，可以根据所需清洗的晶圆厚度，来将晶圆通过静电吸盘吸附在海绵层一侧，海绵层通过电动滑块的带动，在第一滑轨上滑动至内侧收紧，使晶圆与旋转轴上的清洗棉贴合，已达到两侧同时挤压清洗的作用，并且可以对晶圆起到防止掉落损坏的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 回收 | ||
【主权项】：
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